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摘要:ZYGO干涉仪是一种精密测量设备,广泛应用于多个领域。本文概述了不同型号的ZYGO干涉仪及其应用领域。这些干涉仪以其高精度和高分辨率著称,广泛应用于光学、半导体、微纳制造等领域,用于表面形貌、光学元件质量等方面...